日本東麗toray半導(dǎo)體，電子元件氧氣分析儀MS-500
- 多可同時測量8個點
- 濃度顯示范圍很廣，從ppm到100百分之。
- 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。
- 傳感器為直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
- 具有特殊涂層的高度耐用的傳感器，可進一步提高耐用性
- 日本東麗toray半導(dǎo)體，電子元件氧氣分析儀MS-500
MS-500設(shè)備規(guī)格
測量原理形狀顯示方式測量范圍重復(fù)性測量點數(shù)樣氣條件壓力流量濕度溫度其他比較氣記錄儀輸出變速箱輸出報警輸出熱身時間尺寸MS-500（控制器）MS-510（轉(zhuǎn)換器）傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW大眾MS-500（控制器）MS-510（轉(zhuǎn)換器）傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW外部連接使用電源
| 氧化鋯濃縮池類型 |
| 分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直接插入式） |
| 4位數(shù)字顯示（密度顯示） |
| 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm 自動量程 |
| 在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或更高 ±1％FS或± 0.1ppm中，以較大者為準(zhǔn)小于0-1％范圍0-1ppm，atm范圍超出保證的濃度范圍 |
| 1?9?18 |
| 10 -3至200 KPa（壓力） |
| 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自發(fā)擴散狀態(tài)的測量） |
| 露點低于環(huán)境溫度 |
| 0-100°攝氏度 |
| 請勿包含腐蝕性氣體（氟氣，lv氣，硫化物氣等），含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 |
| 大氣層 |
| 僅變速箱輸出 |
| RS-232C |
| 沒有 |
| 6分鐘以內(nèi) |
| 92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起） |
| 100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起） |
| 總長100mm（感應(yīng)部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） |
| 總長100 mm（感應(yīng)部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） |
| 總長100mm（感應(yīng)部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） |
| 約0.6Kg |
| 約0.5kg |
| 約0.2Kg |
| 約0.2Kg |
| 約0.35Kg |
| 真空法蘭之一（NW16、25、40） |
| 24VDC±10％ |
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