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日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測儀CS-900

總覽

下一代濕法HORIBA通過控制化學(xué)藥品濃度來提高產(chǎn)量并優(yōu)化工藝。

為了在半導(dǎo)體制造過程中遵守嚴(yán)格的化學(xué)濃度控制，我們實(shí)現(xiàn)了滿足現(xiàn)場需求的z佳功能，例如穩(wěn)定的測量精度，考慮到工作安全性的*管道固定結(jié)構(gòu)以及緊湊的設(shè)計(jì)。

特征

實(shí)現(xiàn)*的非接觸式和高穩(wěn)定性

外部直接連接到PFA管道的*傳感器結(jié)構(gòu)消除了污染的風(fēng)險(xiǎn)。此外，它消除了安裝傳感器時(shí)的管道工作需求，并消除了化學(xué)泄漏等事故的風(fēng)險(xiǎn)。此外，通過更新傳感器的光學(xué)系統(tǒng)，我們實(shí)現(xiàn)了小型化，同時(shí)保持了與常規(guī)產(chǎn)品（CS-600F ^{* 1}）相同的可重復(fù)性和穩(wěn)定性。

高質(zhì)量和穩(wěn)定的測量

Contami風(fēng)險(xiǎn)為“零"
重現(xiàn)性和穩(wěn)定性相當(dāng)于傳統(tǒng)產(chǎn)品CS-600F ^{* 1}
糾正由于液溫變化而引起的顯示器讀數(shù)變化
采用HORIBA獨(dú)chuang的算法來糾正氣泡的影響

抑制振動(dòng)效果

采用HORIBA獨(dú)chuang的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，可防止管道固定和未對(duì)準(zhǔn)

節(jié)省空間

將光源和光譜儀集成到電池單元中
顯示器使用面板安裝類型（9.6厘米x 9.6厘米）

延長光源壽命

采用LED燈，使用壽命更長（5年保修）

改善工作安全

半年一次的BG校正周期
由于安裝傳感器時(shí)無需安裝管道，因此降低了發(fā)生化學(xué)泄漏等事故的風(fēng)險(xiǎn)。

* 1 CS-600F是HORIBA的光纖型化學(xué)濃度監(jiān)測儀。

由于不使用光纖的光學(xué)設(shè)計(jì)以及放大器和傳感器的小型化，增加了安裝布局的靈活性

實(shí)現(xiàn)直接和穩(wěn)定的化學(xué)物質(zhì)測量（20°C至80°C）

■穩(wěn)定性

測量條件
測量周期：每3秒測量時(shí)間：1小時(shí)
移動(dòng)平均值：16次溫度：室溫管徑：3/4英寸
樣品濃度（在測量開始時(shí)）
NH ₃：0.95％H ₂ O ₂：5.15％H ₂ O ：93.9％

測量結(jié)果作為
樣品（實(shí)際溶液）的1小時(shí)的測量結(jié)果，顯示出良好的穩(wěn)定性。

日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測儀CS-900

規(guī)范

產(chǎn)品名稱	非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測儀CS-900
模型	CS-900
測量原理	吸收光譜
濃度計(jì)算方法	溫度補(bǔ)償多元分析方法
測量范圍/ 再現(xiàn)性系統(tǒng) （單位：質(zhì)量％）	型號(hào)名稱	成分名稱	測量范圍	重現(xiàn)精度	模擬量輸出范圍
	CS-900-1P-1P25P5	NH ₃	0.00％-1.20％	±0.05％	0.00-10.00
		H ₂ O ₂	0.00％-5.50％	±0.10％	0.00-10.00
		高氧₂	93.3％-100.0％	±1.0％	---
	CS-900-1P-P8P8	NH ₃	0.20％-0.80％	±0.03％	0.00-1.00
		H ₂ O ₂	0.20％-0.80％	±0.03％	0.00-1.00
		高氧₂	98.4％-99.6％	±0.3％	---
測量條件		1）測量周期：大約3秒 2）移動(dòng)平均值：16次
管道*^{ 1}**		PFA管道1英寸或3/4英寸
*樣品溶液條件^{ 2}**		化學(xué)溶液溫度：20-80°C化學(xué) 溶液溫度變化，環(huán)境溫度變化在±1°C內(nèi)（1小時(shí)）輸入壓力：0.2MPa（G）以下壓力變化：0.02MPa以下
電源供應(yīng)		DC24V
*消耗功率^{ 3}**		約30W
大眾		顯示：約0.9Kg 傳感器單位：約2.9Kg
外形尺寸（寬x深x高）		顯示：96 x 135 x 96 mm 傳感器單元^{* 4}：238 x 140 x 146 mm
傳感器單元安裝角度		前后方向：±3度以內(nèi)，左右方向：0-90度
光源壽命		5年
通訊		并行I / O，RS-232C，模擬輸出