日本tekhne SF6氣體露點(diǎn)儀MBW973-SF6系列
特性
抽查
SF6氣體露點(diǎn)管理
氣體變壓器/氣體斷路器
氣體絕緣開(kāi)關(guān)
半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝
SF6氣體回收與再循環(huán)
主要用途
SF6純度/變壓器/氣體斷路器的露點(diǎn)測(cè)量
日本tekhne SF6氣體露點(diǎn)儀MBW973-SF6系列
特點(diǎn)
環(huán)保測(cè)量?jī)x
SF6（六氟化硫）氣體是一種溫室氣體，其減排目標(biāo)是由《京都議定書(shū)》設(shè)定的，據(jù)說(shuō)其溫室效應(yīng)約為每單位體積CO 2的23,400倍。SF6氣體在斷路器/變壓器和半導(dǎo)體工藝中用作絕緣氣體，因此必須測(cè)量水分和SF6純度以保持其絕緣性。
另一方面，迄今為止，在日本，在測(cè)量時(shí)將其釋放到大氣中，或者在不釋放的情況下以高成本進(jìn)行收集和分解是很普遍的。通過(guò)使用MBW973-SF6，可以將測(cè)得的SF6氣體返回到原始設(shè)備而不會(huì)釋放到大氣中，并且可以將向大氣中的排放減少到零。
高精度測(cè)量
到目前為止，由于電容類(lèi)型易于獲取，因此通常被使用。另一方面，MBW973-SF6的露點(diǎn)和純度測(cè)量均采用高精度鏡型，因此可以分別以±0.5°C和0.5％的精度進(jìn)行高精度測(cè)量，響應(yīng)速度快，隨時(shí)間的推移幾乎沒(méi)有劣化。是。通過(guò)使用該裝置，可以大大減少操作者的工作時(shí)間，并且可以容易地進(jìn)行可靠的測(cè)量。
SO 2測(cè)量選項(xiàng)
SF6氣體通過(guò)與水反應(yīng)來(lái)凈化HF氣體和SO 2氣體。MBW973-SF6可以測(cè)量0至100ppm或0至500ppm范圍內(nèi)的SO 2。該傳感器使用電化學(xué)電池，可以滿(mǎn)量程±2％的精度進(jìn)行測(cè)量。
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