日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
- 過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時具備較高的耐熱性能。
- 使用氮氣（N2）輸入，當(dāng)過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時，輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。
- 固定或脈動方式下過濾精度經(jīng)CNC確認達到0.003μm，實現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
規(guī)格
| 過濾精度 | 0.003μm |
|---|---|
| 推薦流量 | 10～100?/min（各型號區(qū)別：參考流量特性曲線) |
| 高使用壓力 | 0.98MPa(142PSIG) at20℃ |
| 容許差壓 | 0.7MPa(101.5PSIG) at20℃ |
| 高使用溫度 | 460℃ |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 |
| 構(gòu)成材料 | 外罩:SUS316L（電解研磨處理）元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 |
| 連接零件 | 1/4"Gasket seal、其它 |
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