日本chino光學(xué)干涉涂層測厚儀 IRMS8599S
IRMS8599將光投射到要測量的薄膜上，并測量表面反射光和反射背上反射光引起的干涉厚度。
它適用于半導(dǎo)體、液晶面板、太陽能電池、LED 面板和涂層等制造工藝。
IRMS8599S 具有 RS-485 通信和模擬輸出功能。
實時測量 1 μm 或更小的超薄膜
連續(xù)光譜可實現(xiàn)FFT分析和CF（曲線擬合）分析
同時測量多達 4 層
工作溫度0~50°C，IP65（防塵防滴結(jié)構(gòu)）
其他特性
IRMS8599S 配備 RS-485 通信和模擬輸出功能。
日本chino光學(xué)干涉涂層測厚儀 IRMS8599S
規(guī)范
IRMS8599S
| 名字 | 光學(xué)干涉鍍膜測厚儀 |
|---|---|
| 格式 | IRMS8599S |
| 如何衡量 | 可見光近紅外連續(xù)光譜 |
| 測量范圍 | 20納米~100微米 |
| 測量波長范圍 | 0.4~1.0微米 |
| 測量距離/直徑 | 10~80毫米/φ20毫米（平行光筒） 18毫米/φ2毫米（會聚光學(xué)鏡筒） 80毫米/φ5毫米（會聚光學(xué)鏡筒） |
| 測量間隔 | 10~10000毫秒 |
| 光源 | 鎢絲燈 |
| 纖維 | 雙分支束光纖 |
| 通信接口 | RS-485 |
| 模擬輸出信號 | 4~20mA DC（負載電阻500Ω以下） |
| 權(quán)力 | 24V 直流 |
| 功耗 | 高達 150VA |
| 質(zhì)量 | 約 3.5 千克 |
| 防護結(jié)構(gòu) | 防塵防濺結(jié)構(gòu) （IP65） |
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