日本g-freude非接觸式中心壁厚檢測儀CT-Gauge DX
通常,當透鏡壁厚偏離設計值時,球差會增大,尤其是在微透鏡中,壁厚誤差會導致球差擴大和焦點位置波動。然而,測量鏡片的中心厚度是一個相當困難的測量目標,并且尚未建立測量方法。
另外,我想避免接觸測量,如果可能的話,這可能會導致劃痕。尤其是半導體曝光機的大口徑鏡頭,
玻璃材質(zhì)是有原因的,但要求光學性能高,
壁厚公差嚴格。
測量的另一個原因是為了
響應在鏡片加工過程中(特別是在初始階段)測量壁厚的要求。如您所知,被稱為難玻璃
材料的軟玻璃材料,由于晶體取向的問題,具有被快速刮掉的特性。此外,材料成本
高,我們希望減少加工錯誤。此外,使用其他公司的測量光通過樣品正面和背面的
反射光測量壁厚的設備無法進行此測量。
* 由于測量粗糙表面時物體之間的距離會有輕微誤差,
建議使用四邊形位移計或在表面涂油。
目前改進的CT-gauge具有以下性能。
◆ 產(chǎn)品配置(以下為標準配置規(guī)格)
1)高精度非接觸式位移計單元(2個)
2)精密XY掃描平臺
3)位移計驅(qū)動機構
4)位移計四軸調(diào)整單元(2套) )? FIX 載物臺規(guī)格)
5) 新開發(fā)的“內(nèi)置陶瓷校準儀的單元(帶有獨立的傾斜調(diào)整機構)"
6) 通用樣品夾持機構( Φ10 至 100 )
7) 控制箱
8) 分析筆記本電腦
9) 安裝了基于 3D 形貌和透鏡頂點分析算法的定制軟件
Hybird Peak Analysis System ( HyPAS )
10) 接線電纜
日本g-freude非接觸式中心壁厚檢測儀CT-Gauge DX
* 1 Φ10 或以下樣品需要樣品架(單獨出售)
* 2 防震支架 是不是特別需要,但好有一個工作環(huán)境溫度恒定的空調(diào)房間。
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