日本YAMABUN山文電氣臺(tái)式離線分光干涉式測厚儀TOF-S
產(chǎn)品特點(diǎn)
實(shí)現(xiàn)高測量重復(fù)性（± 0.01 μm 或更小，取決于對(duì)象和測量條件）
不易受溫度變化的影響
可以生產(chǎn)用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式。
反射型允許從薄膜的一側(cè)進(jìn)行測量
僅可測量透明涂膜層（取決于測量條件）
模型 飛行時(shí)間 測量方法 非接觸式/光譜干涉式 測量對(duì)象 電子和光學(xué)用透明平滑膜、多層膜 測量原理 光譜干擾型 日本YAMABUN山文電氣臺(tái)式離線分光干涉式測厚儀TOF-S
產(chǎn)品規(guī)格
測量厚度 1～50μm（薄材料）、10～150μm（厚材料） 測量長度 50-5000 毫米 測量間距 1 毫米 ~ 小顯示值 0.001微米 電源電壓 AC100 V 50/60 Hz 工作溫度限制 5～45℃（測量時(shí)溫度變化1℃以內(nèi)） 濕度 35-80%（無冷凝） 測量區(qū)域 φ0.6 毫米 測量間隙 約 30 毫米
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