日本朝日分光asahi-spectra光譜膜厚監(jiān)測儀OMD-1000
這是一臺光譜膜厚監(jiān)測儀，用于監(jiān)測在用單色光進(jìn)行氣相沉積過程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設(shè)備中，并作為膜厚監(jiān)測設(shè)備完成，該設(shè)備具有氣相沉積零件制造商的專有技術(shù)。
全波長范圍
在傳統(tǒng)型號中，波長選擇是濾光片類型，但是新產(chǎn)品結(jié)合了我們成熟的光譜儀，現(xiàn)在可以選擇任何波長。
膜厚變化的信號是從電壓輸出到與個(gè)人計(jì)算機(jī)兼容的數(shù)字輸出，控制機(jī)制是從手動操作到個(gè)人計(jì)算機(jī)的命令控制。此外，通過將薄膜厚度計(jì)主體通過I / F直接連接到個(gè)人計(jì)算機(jī)來控制其厚度成為可能，這是一個(gè)非常緊湊的系統(tǒng)，無需像其他制造商一樣具有控制器。
特征
分光鏡設(shè)計(jì)緊湊
通過提高抗噪聲性（靜電放電測試耐受電壓±5 kV）實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚度監(jiān)控
可以通過PC上的命令自動控制
通過將控制器合并到接收器主體中來實(shí)現(xiàn)高性價(jià)比
日本朝日分光asahi-spectra光譜膜厚監(jiān)測儀OMD-1000
產(chǎn)品規(guī)格
| 模型 | OMD-1000 |
| 光譜儀類型 | Zellny Turner類型單單色 |
| 波長范圍 | 保證范圍：380至900 nm可操作 范圍：350至1100 nm |
| 波長分辨率 | 狹縫0.5mm：4.2nm [546nm] 狹縫1.0mm：8.3nm [546nm] |
| 波長精度 | ±1.0納米 |
| z小波長進(jìn)給 | 0.1納米 |
| 外部控制 | RS232C |
| 外部輸出端子 | DC0-2V（滿量程） |
| 采樣間隔 | 100ms以上 |
| 靜電放電試驗(yàn)?zāi)碗妷?/td> | ±5kV（實(shí)際8kV） |
| 光源 | 12V100W鹵素?zé)?/td> |
| 光強(qiáng)度穩(wěn)定性 | ±0.1％/ h以下 |
| 輸入電壓 | AC100V 50/60赫茲 |
| 允許輸入電壓 | AC85-132V |
| 視在功率 | 340VA以下 |
| 使用環(huán)境 | 溫度10-35℃ 濕度20-80％ |
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