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FLY2000導(dǎo)電粒子顯微鏡主要特點:
1.光學(xué)系統(tǒng)
采用無限遠光學(xué)系統(tǒng),可適用各種無限遠物鏡,標(biāo)準(zhǔn)配置為60mmNIKON物鏡,螺紋接口為M25×0.75,標(biāo)準(zhǔn)配置雙目頭和三目頭選用NIKON品牌
可配置45mm,及95mm物鏡(配對應(yīng)的轉(zhuǎn)接環(huán));
可配置其它品牌雙目頭和三目頭;
2.具備上下兩套調(diào)焦系統(tǒng),可觀察較高較厚樣品;
上調(diào)焦行程為50mm;
下調(diào)焦行程為14mm;
調(diào)焦系統(tǒng)充分考慮了人機工程,使用低位操作;另外在下調(diào)焦系統(tǒng)增加了減力結(jié)構(gòu),使用輕松;
3.配置8寸快速移動大平臺,方便快捷;
8寸快速移動平臺是仿OLYMPUS的12寸平臺設(shè)計,使用軟軸控制,可同時實現(xiàn)快速移動及微小調(diào)整;
平臺采用數(shù)控機床加工,充分保證精度;
平臺可加載在透射光機臺上;
平臺表面采用石墨處理,耐磨性好;
平臺玻璃可調(diào)整平整度;
4.配置偏振系統(tǒng)及微分干涉系統(tǒng),可實現(xiàn)COG中粒子及爆破檢測,可實現(xiàn)TAB檢測;
具備起偏器和檢偏器,可做偏光檢測,在半導(dǎo)體和PCB檢測中,可消除雜光,細節(jié)更清楚;
可加載微分干涉器,實現(xiàn)微分干涉觀察,在COG中,可清晰觀察3-5um的粒子;整個市場干涉色彩均勻;
5.可配置落射照明和透射照明;
落射照明和透射照明均采用LED照明,使用LED品牌。LED照明發(fā)熱小,壽命長,無需經(jīng)常更換燈泡等。
FLY2000導(dǎo)電粒子顯微鏡技術(shù)參數(shù):
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