當(dāng)前位置:孚光精儀(中國)有限公司>>表面微納測量>>表面形貌儀>> 光學(xué)形貌表面形貌儀
這款表面形貌儀,又稱為光學(xué)形貌儀或三維形貌儀,它除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,表面形貌儀具有測量晶圓翹曲度的功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。
應(yīng)用領(lǐng)域
用于太陽能電池測量
用于半導(dǎo)體晶圓測量
用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量
用于機(jī)械部件的計(jì)量
用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量
產(chǎn)品特色
*除了表面形貌的測量,還可以測量張量和應(yīng)力(簡單);
*可測量晶圓的尺寸為0.5''到12'', zui高可達(dá)45x45cm的尺寸,對(duì)于小于0.5''的晶圓或樣品,可配備微距鏡頭。
*測量晶圓或其他樣品的表面形貌,粗糙度和翹曲度;
*克服常見干涉儀在粗糙表面(油漆)表現(xiàn)不足的問題;
*非接觸式測量
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