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UL1000FAB氦氣檢漏儀
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UL1000FAB 穩(wěn)定性和敏感度的新疆界,檢漏低達(dá)10-12毫巴•升/秒
英???span lang="EN-US">UL1000FAB移動(dòng)式特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。
憑借工廠環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性,UL1000FAB提供在所有測量范圍中提供極快的漏率響應(yīng)。通過結(jié)合高速氦氣抽吸和高進(jìn)氣口壓強(qiáng)的佳真空結(jié)構(gòu),UL1000FAB提供的*的漏率低達(dá)< 5×10-12毫巴•升/秒。軟件I-CAL(智能漏率計(jì)算法)讓您忘記在低漏率范圍檢漏時(shí)較長反應(yīng)時(shí)間的煩惱,因?yàn)?span lang="EN-US">UL1000能夠?qū)λ新┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時(shí)超過8小時(shí)的無線作業(yè)。該單元配置一個(gè)3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀的操作特點(diǎn)。連接2個(gè)或多個(gè)檢漏儀的RC1000C有線型和無線遙控手柄用于完成產(chǎn)品組合。
使用額外的 TC1000 試驗(yàn)室附件 測試盒附件,UL1000FAB為密封產(chǎn)品提供簡單、快速、精確的測試,如IC包裝、石英晶體和激光器二極管(根據(jù)MilStd883,方法1014)。
UL1000FAB 特征概覽
15級的寬測量范圍
較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
移動(dòng)式全金屬外殼為可操作性提供了額外便利性
I-CAL確保了所有測量范圍中泄漏的快響應(yīng)時(shí)間
抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正提供快速、可靠的測試結(jié)果
含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)提供高速氦氣抽速和高壓縮比
旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許該單元的簡單、輕松控制和交互作用
自保護(hù)功能可防止UL1000Fab受到氦氣和微粒的污染
自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保隨時(shí)可用性
通過電子郵件進(jìn)行軟件升級
含兩個(gè)燈絲離子源(3年質(zhì)保)的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔確保了精確的測試結(jié)果
內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測漏”功能可使用TC1000測試盒執(zhí)行密封部件的自動(dòng)測試
可選RC1000遙控器
UL1000FAB 應(yīng)用
半導(dǎo)體加工工具上的維護(hù)工作
工藝氣體系統(tǒng)的檢測和安裝
部件檢漏
需高泵抽速、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
UL1000FAB,UL1000FAB—慧龍環(huán)科
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