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高精度橢偏測量解決方案;超高精度、快速無損測量;支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制;豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力
產(chǎn)品型號 | SE-VM光譜橢偏儀 | ||
主要特點 | 1、采用高性能進口復(fù)合光源,光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm) 2、高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置,實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 3、支持系列配置靈活,可根據(jù)不同應(yīng)用場景支持多功能模塊化定制 4、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、自動化程度:手動變角 2、應(yīng)用定位:通用型 3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 4、分析光譜380-1000nm(可擴至210-1650nm) 5、單次測量時間:0.5-5s 6、重復(fù)性測量精度:0.01nm 7、光斑大小:大光斑2-3mm,微光斑200μm 8、入射角調(diào)節(jié)方式:手動變角 9、入射角范圍:55-75°(5°步進),90° 10、找焦方式:手動找焦 11、Mapping行程:不支持 12、支持樣件尺寸:大至180mm | ||
可選配件 | 1 | 溫控臺 |
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2 | Mapping擴展模塊 |
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3 | 真空泵 |
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4 | 透射吸附組件 |