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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品型號 | 2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐SP-85KTC |
主要特點 | 1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。 2、設(shè)有自動水壓、過熱、功率過高保護系統(tǒng)。 3、溫控器采用PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護功能。 4、配有防腐型真空計，當(dāng)氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類的不同進行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到 3.8×10E-5 torr。 5、迷你型浮子流量計精度為4%。 6、配有雙級旋片機械泵（2L/s），可使石英管內(nèi)真空度達到10E-2torr。 |
技術(shù)參數(shù) | 感應(yīng)加熱器 1、工作電壓：三相AC 380 V 50Hz（需60 A空氣開關(guān)） 2、工作電流：7Amps-70Amps（需100A空氣開關(guān)） 3、功率：zui大振蕩功率30KW，zui大輸入功率15KW 4、輸出頻率：30KHz-110 KHz 5、占空比：80% 6、感應(yīng)線圈：內(nèi)徑Φ220 mm，高65 mm 7、空氣冷卻：后風(fēng)扇 |
溫度控制器及熱電偶 1、工作電壓：AC208V-240V 單相 2、控溫精度：±3℃ 3、熱電偶：C型，外徑Φ1/4″，長10″ 4、連續(xù)工作溫度范圍：1000℃-2000℃ 5、zui大升溫速率：4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃） | |
石墨坩堝（易耗件） 1、高純石墨坩堝：外徑Φ114mm，內(nèi)徑Φ100mm，高142mm 2、zui大容量：樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2，zui大質(zhì)量為4kg（以鐵標(biāo)定） 3、保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從內(nèi)至外分別為石墨氈（可耐溫2200℃）-氧化鋁（可耐溫 1700℃）-高溫氈，總厚度為32mm | |
石英管和密封法蘭 1、石英管：兩端開口，外徑Φ216mm，內(nèi)徑Φ208mm，長500mm 2、頂部法蘭：采用不銹鋼折疊式法蘭，裝有防腐型真空計、不銹鋼截止閥，設(shè)有1個1/4″的鎧裝接口（ 可插入熱電偶至石英管內(nèi)部，更準(zhǔn)確地測量樣品溫度） 3、底部法蘭：設(shè)有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接 | |
水冷機 1、溫度：5℃-30℃ 2、水流速：>16L/min 3、水箱容積：12L，采用不銹鋼制作 4、水壓：≥0.1MPa 5、流量：≥5L/min （建議使用特定的冷卻劑液以達到*的冷卻效果） | |
真空泵 工作電壓：AC208V-240V單相 | |
移動爐架 尺寸：700mm×1000mm×700mm，鋼框架結(jié)構(gòu)，方便移動感應(yīng)加熱器和帶法蘭的石英管 | |
產(chǎn)品規(guī)格 |  |
注意事項 | 操作前，必須仔細閱讀說明書，且操作人員需帶防護面罩。使用時，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣 下進行，流量小于200ml/min，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內(nèi) 的氣壓，若氣壓超過安全值，會引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造成人身傷害。 |
其他事項 | 本機可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)。請參看下圖。
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