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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品型號 | SKJ-50晶體生長爐 |
主要特點(diǎn) | 1、與同類相比屬于小型晶體生長爐，適合于大專院校、研究所使用。 2、電子稱在生長過程中可自動控制晶體的直徑。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：三相380V 25KW 2、感應(yīng)射頻：功率25KW，射頻0.2-20KHz 3、真空腔體：Φ500mm×700mm 4、真空度：10-3torr（機(jī)械泵），10-5torr（擴(kuò)散泵泵） 5、zui大提拉行程：500mm 6、提拉速度：0.1-20mm/h 7、籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度：0-40rpm 8、zui大可熔融溫度：2100℃ 9、控溫精度：<±0.2℃ 10、冷卻水：所需水壓0.13-0.18MPa，所需流量60L/min 11、移動速度：1mm/h-10mm/h可調(diào) 12、快速移動：手動 13、結(jié)晶轉(zhuǎn)速：1-50rpm 14、真空系統(tǒng)：機(jī)械泵和擴(kuò)散泵 15、極限真空度：10-5torr |
產(chǎn)品規(guī)格 | 1、爐體：880mm×1250mm×2850mm 2、控制柜：680mm×540mm×1700mm 3、中頻柜：1100mm×500mm×1500mm 4、總重：1500kg |
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