三維光學(xué)表面輪廓儀 返回列表頁(yè)

全新設(shè)計(jì)的三維光學(xué)表面輪廓儀S neox顛覆傳統(tǒng)，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融合于一身，測(cè)量頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件。

測(cè)量技術(shù)：

共聚焦

共聚焦技術(shù)可以用來(lái)測(cè)量各類(lèi)樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

干涉

ª 相位差干涉 (PSI)

相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測(cè)量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場(chǎng)測(cè)量。

ª 白光干涉 (VSI)

白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率。

多焦面疊加

多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測(cè)量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來(lái)補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

測(cè)量及分析軟件

SensoSCAN

SensoSCAN是一款簡(jiǎn)潔友好的操作軟件。它將用戶(hù)進(jìn)入3D的世界，提供*的用戶(hù)體驗(yàn)。在軟件界面內(nèi)，用戶(hù)可以直觀明確地了解所用的測(cè)量方式，同時(shí)還能顯示和分析數(shù)據(jù)。

強(qiáng)大的專(zhuān)業(yè)分析軟件

增配SensoPRO LT 或SensoMAP軟件就能輕易實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量和分析。  

應(yīng)用：

三維光學(xué)表面輪廓儀S neox可以滿(mǎn)足您的各種應(yīng)用要求，在半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥和生物技術(shù)產(chǎn)業(yè)里起到關(guān)鍵作用。