當(dāng)前位置:北京愛歐德儀器設(shè)備有限公司>>瑞士-皮特PETER>> AOD-FT-341AOD-FT-341多功能數(shù)字式四探針多功能數(shù)字式方阻測試儀 數(shù)字式雙電測四探針測試儀?
多功能數(shù)字式方阻測試儀是運用方形四探針Keywell測量原理的多用途綜合測量裝置,它與直線四探針相比,消除了探針游離對測試結(jié)果的不利影響,大大提高精確度,并提高微區(qū)測試能力,
它可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率,擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。也可測柔性導(dǎo)電薄膜和玻璃等硬基底上導(dǎo)電膜的方塊電阻(簡稱方阻),換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進行測量。
本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果分類功能,分類10類
儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;自動轉(zhuǎn)換量程;測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準確、游移率小、壽命長;測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
三、基本技術(shù)參數(shù)
1.測量范圍、分辨率
電 阻: 1.0×10-3~ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω
電 阻 率: 1.0×10-3~ 20.0×103Ω-cm 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻: 1.0×10-3~ 20.0×103Ω/□ 分辨率1.0×10-3~ 0.1×103 Ω/□
2.可測半導(dǎo)體材料尺寸
直 徑: 測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
長(或高)度: 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3.量程劃分及誤差等級
量程 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | |||||
誤差 | ±0.5%FSB±1LSB(在各量程范圍內(nèi)),超量程或欠量程可測量,但誤差將隨超欠程度而變大 |
4)工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5)外形尺寸:W×H×L=20cm×7.5cm×18cm
凈 重:≤1kg
更新時間:2021/9/2 12:15:48
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