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當前位置：北京愛歐德儀器設備有限公司>>電力通訊儀器系例>>測量儀>> AODJ-DZ電子薄膜應力分布測試儀
電子薄膜應力分布測試儀 基片曲率半徑測量測試儀 光學零件平整度面形檢測儀 微電子生產(chǎn)半導體基片檢測儀
電子薄膜應力分布測試儀 型號AODJ-DZ
該產(chǎn)品主要應用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數(shù)多,能給出全場面型分布結(jié)果,適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗和微電子生產(chǎn)工藝研究。
儀器基于干涉計量的全場測試原理,可實時觀測面型的分布,迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置,及時淘汰早期失效產(chǎn)品。
技術指標
zui大樣品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范圍|R|≥5米
測試精度5%
單片測量時間3分鐘/片
結(jié)果類型面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
zui大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
技術指標
zui大樣品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范圍|R|≥5米
測試精度5%
單片測量時間3分鐘/片
結(jié)果類型面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
zui大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
技術指標
zui大樣品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范圍|R|≥5米
測試精度5%
單片測量時間3分鐘/片
結(jié)果類型面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
zui大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
技術指標
zui大樣品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范圍|R|≥5米
測試精度5%
單片測量時間3分鐘/片
結(jié)果類型面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
zui大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
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