規(guī)格
壓力額定值入口壓力：580 psig / 40.0 bar
出口壓力：22、58、145 psig / 1.5、4.0、10.0 bar
材料
閥體：316 不銹鋼
閥膜：Elgiloy® / Hastelloy®
閥座
閥門：PCTFE
減壓器：PTFE
大氣壓下的泄漏率
每個連接 10-8 mbar l/sec 氦氣
流量速率
1-200 LPM，以氮氣為基準
工作溫度
-20°C 至 70°C / -4°F 至 158°F
接口尺寸和類型
入口和出口：1/4 高純度內(nèi)部連接 (HPIC) 設(shè)計用于與 1/4 旋轉(zhuǎn) VCR®（或兼容的接頭）一起使用
壓力表：1/4 內(nèi)部 VCR®
重量（近似值）
2.7 lb / 1.2 kg
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