水滴角測試儀
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輔光精密儀器(上海)有限公司
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水滴角測試儀是為晶圓親水性測試設(shè)計(jì)的光學(xué)水滴接觸角測定儀,晶圓潤濕行為(比如HMDS涂層)是半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)流程步驟,采用水滴角測試儀測量晶圓親水性和表面自由能是有效而工藝控制程序,為此,需要一種易于使用的水滴角接觸角測量儀器
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