通過簡單的鼠標點擊,您可以快速執(zhí)行尺寸測量,并將結果捕獲到SD卡或計算機上。對于任何半導體企業(yè)和冶金實驗室來說,晶圓IC檢測金相顯微鏡MX-2000T都是的檢查、記錄的顯微鏡。
晶圓IC檢測金相顯微鏡典型應用
半導體晶圓集成電路檢測顯微鏡
工業(yè)冶金分析
大功率遠距離檢測顯微鏡
晶圓IC檢測金相顯微鏡MX-2000T特點
專為晶圓IC檢查而設計
用于自動對焦顯微鏡攝像頭或具有測量功能的4K攝像頭的三目端口
易于移動的10英寸x 10英寸XY工作臺,帶有同軸旋鈕控制,移動距離為195mm x 245mm
總光學放大率40x-400x,帶10x高目鏡
4x、10x、20x、40x無限平面消色差物鏡
目鏡22毫米視場,30度角
照明:鹵素同軸反射光
可靠且價格合理
晶圓IC檢測金相顯微鏡MX-2000T規(guī)格參數(shù)
觀察頭:無補償三眼頭,傾斜30度
目鏡:超寬視場目鏡WF 10X/22mm
物鏡:無限平面消色差,4X,10X,20X,40X,(80X可選)
放大倍數(shù):40-800X(雙目目鏡觀察)
視場:0.275mm-5.5mm(雙目目鏡觀察)
Nosepiece物鏡轉塔:四重機頭:4X/10X/20X/40X(可選80X)
聚焦系統(tǒng):同軸粗、精對焦系統(tǒng),距離24mm
XY位移臺尺寸:300mm x 268mm
XY位移臺尺寸行程范圍:250mm x 250mm, 10″ x 10″
照明光源:鹵素燈6V20W,亮度連續(xù)可調
濾光片:藍色,黃色,綠色和Ground 玻璃
偏振配件:偏振分析器和偏振片
高級平面消色差物鏡 | ||||
放大倍數(shù): 4x 10x 20x 40x | 工作距離 (mm) | 數(shù)值孔徑 (N.A.) | 物鏡10X(Φ22mm) | FOV 視場(mm) |
4X | 25.4 | 0.1 | 40X | 5.5 |
10X | 11 | 0.25 | 100X | 2.2 |
20X | 6 | 0.4 | 200X | 1.1 |
40X | 3.7 | 0.6 | 400X | 0.55 |
80X (Optional) | 0.2 | 0.9 | 800X | 0.275 |
晶圓IC檢測金相顯微鏡檢測結果
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