等離子體清潔器蝕刻機(jī)用于等離子體蝕刻、表面清潔和活化的實(shí)驗(yàn)室等離子體清洗蝕刻系統(tǒng)。
等離子體清潔器蝕刻機(jī)產(chǎn)生氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃?、CF4、SF6、環(huán)境空氣或其他混合氣體等離子體來灰化光刻膠，圖案化后除渣，蝕刻二氧化硅和氮化物，去除碳?xì)浠衔锖推渌砻嫖廴疚?，改變表面能，提高結(jié)合強(qiáng)度。等離子體清潔器蝕刻機(jī)Tergeo系列等離子體系統(tǒng)是一種需要在低壓下運(yùn)行的真空等離子體系統(tǒng)。腔室直徑分別為110mm、160mm和230mm。該室的深度為280毫米或340毫米。
等離子體清潔器蝕刻機(jī)應(yīng)用
引線接合、芯片連接、倒裝芯片接合工藝之前的清潔。
用于去除碳?xì)浠衔镂廴镜腟EM/TEM樣品清洗
生物醫(yī)學(xué)涂層前的表面處理及提高植入物親水性
環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)、玻璃和基板清潔
光刻膠灰化、descum和硅片清洗
PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室
改善金屬與金屬或復(fù)合材料的結(jié)合
改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合
活化、滅菌并提高涂層附著力
等離子體清潔器蝕刻機(jī)特點(diǎn)
采用外部電極設(shè)計(jì)，等離子體均勻性*hao
用于定量等離子體強(qiáng)度測量的等離子體傳感器技術(shù)
一個(gè)系統(tǒng)中的直接/浸沒模式和遠(yuǎn)程/下游等離子體處理模式
連續(xù)和脈沖等離子體可以將清潔速度改變3-4個(gè)數(shù)量級。
高頻13.56MHz射頻電源，具有自動阻抗匹配功能。在相同的射頻額定功率下，MHz等離子體系統(tǒng)的效率是KHz等離子體系統(tǒng)的許多倍。
xianjin的過程控制技術(shù)
質(zhì)量流量控制器（MFC）調(diào)節(jié)氣體輸入，而不是手動轉(zhuǎn)子流量計(jì)或粗針閥
xianjin的數(shù)字壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)精確的壓力監(jiān)測
全自動操作，支持20種配方
直觀的電阻式觸摸屏用戶界面
外部射頻電極和石英室可以消除帶有內(nèi)部金屬電極的等離子體系統(tǒng)上的金屬污染問題
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