等離子體是區(qū)別固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)的第四種物質(zhì)形態(tài)，氣體受外電場激發(fā)放電，成為等離子體。

這是一種由電子、各種離子、原子和自由基構(gòu)成的混合體，其間電子、各種離子、重粒子相互碰撞，內(nèi)部能量很高但整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，低溫等離子體由此得名。

低溫等離子利用高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，污染物中的大分子團(tuán)被擊碎，長分子鏈被打斷成為無害的短分子物質(zhì)，達(dá)到降解污染物的目的。(注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，近于常溫。)

低溫等離子反應(yīng)器由大功率電源(高頻率、高電壓)、放電電極、絕緣體(介質(zhì))構(gòu)成，核心部件采用石英、不銹鋼等耐腐蝕材料制造，

待處理氣體流經(jīng)反應(yīng)器被電離成為等離子體，在極短的時(shí)間里(秒)完成物質(zhì)的裂解過程，其處理能力之強(qiáng)，能效比之高是的。

低溫等離子技術(shù)能夠有效去除硫化氫、氨、三甲胺、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯、二甲二硫物質(zhì)。分解羥基化合物、硫化物、酚類、醇類、胺類、脂肪酸等有毒有害物質(zhì)，應(yīng)用廣泛。