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　　產(chǎn)品簡(jiǎn)介

　　NX20型原子力顯微鏡是韓國(guó)PARK原子力顯微鏡公司功能很強(qiáng)大的工業(yè)級(jí)大尺寸原子力顯微鏡，這是一款全自動(dòng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)，掃描范圍達(dá)300mm*300mm，掃描分辨率0.02nm，集成了PARK公司技術(shù)“非接觸式工作模式"“智能掃描模式"“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器"，并標(biāo)配快速掃描模式，變速掃描模式，多種測(cè)量模式可選，NX20型原子力顯微鏡被廣泛用于半導(dǎo)體，LCD，LED，OLED，硬盤(pán)等工業(yè)領(lǐng)域。

　　產(chǎn)品技術(shù)特色

　　(1）采用非接觸式工作模式：PARK公司是目前一家真正實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測(cè)量精度的前提下，可實(shí)現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測(cè)量，避免了由于針尖磨損帶來(lái)測(cè)量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點(diǎn)。

　　下圖是測(cè)量CrN樣品的實(shí)例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測(cè)量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無(wú)變化，針尖幾乎無(wú)磨損?。?！

　　(2）探測(cè)器噪聲水平為業(yè)界：0.02nm。Z軸探測(cè)器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進(jìn)之一,它是Park的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲的Z軸探測(cè)器,檢測(cè)原子臺(tái)階及其容易。

　　(3）采用高性能平板掃描器：采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個(gè)80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

　　(4）操作極其簡(jiǎn)單：

　　- 具有“智能掃描模式"Smart scan：這是PARK公司的技術(shù)之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動(dòng)調(diào)整反饋,無(wú)需尋找共振峰,無(wú)需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

　　- 具有中文，英文等多種操作界面

　　- 憑借著我們的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，懸臂在裝載時(shí)激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)無(wú)二）讓您可以輕松地找到激光光點(diǎn)。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺(jué)旋動(dòng)兩個(gè)定位旋鈕，將激光光點(diǎn)隨著X軸和Y軸移動(dòng)。這樣，您可以在激光準(zhǔn)直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時(shí)，您只需要稍作調(diào)整實(shí)現(xiàn)信號(hào)的，便可開(kāi)始獲取數(shù)據(jù)。