產(chǎn)品簡介

　　(1）可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具。

　　Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實驗室設(shè)計，可有效地檢測整個300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺，但Park的創(chuàng)新性振動隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平。經(jīng)檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調(diào)整的需求，并使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。通過我們的“批處理模式(Program Mode)"界面，用戶可以在整個300mmx300mm區(qū)域輕松實現(xiàn)可靠與可重復(fù)的順序多站點測量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的。

　　(2）專為大樣品晶圓檢測而建

　　NX20 300 mm進行了全新設(shè)計，可達到大樣品的測量。整個300mm晶圓區(qū)域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地開展工作。

　　(3）靈活的300mm樣品吸盤

　　Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準確掃描任何樣品。

　　(4）300mm XY軸工作臺

　　機動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動原子力顯微鏡的測量位置。

　　(5）NX20 支持300mm樣品臺，性能已被證實

　　因其的易用性和自動化以及不受影響的精度，NX20已是FA、QA和QC工程師的優(yōu)先選擇。憑借其支持300mm電動XY軸工作臺的擴大平臺，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以的精度檢測更大的樣品。

　　(6）在完整300mm晶圓上掃描多個位點

　　SmartScan™允許用戶從位點到位點和樣品到樣品的層面上，借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式，進行自動順序測量與表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時的用戶便利性和生產(chǎn)效率。

　　(7）強大的工作創(chuàng)建功能

　　格式創(chuàng)建流程簡單，允許工程師設(shè)置每個批次的位置、名稱、數(shù)量和類型所定義的預(yù)設(shè)。

　　(8）針對廣泛應(yīng)用性進行優(yōu)化

　　NX20 300mm為眾多應(yīng)用提供自動格式的原子力顯微鏡測量，為納米級的樣品提供高級測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。

　　產(chǎn)品技術(shù)特色

　　(1）采用非接觸式工作模式：PARK公司是目前一家真正實現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點。

　　下圖是測量CrN樣品的實例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損?。。?/p>

　　(2）探測器噪聲水平為業(yè)界：0.02nm。Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進之一,它是Park的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲的Z軸探測器,檢測原子臺階及其容易。

　　(3）采用高性能平板掃描器：采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

　　(4）操作極其簡單：

　　- 具有“智能掃描模式"Smart scan：這是PARK公司的技術(shù)之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

　　- 具有中文，英文等多種操作界面

　　- 憑借著我們的預(yù)準直懸臂架，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)無二）讓您可以輕松地找到激光光點。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點隨著X軸和Y軸移動。這樣，您可以在激光準直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時，您只需要稍作調(diào)整實現(xiàn)信號的，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

　　(5）工業(yè)級別的XEA軟件：具有自動識別，自動掃描，自動分析功能，大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費的時間。

　　(6）導(dǎo)電原子力顯微鏡：

　　Park導(dǎo)電原子力顯微鏡在市場中競爭力，不但有著全行業(yè)的電流噪聲，且增益范圍也是，并且可實現(xiàn)電流快速掃描功能，是半導(dǎo)體測試電流的標準。

　　- 業(yè)內(nèi)的電流噪聲(50fA)

　　- 業(yè)內(nèi)的電流(10mA)

　　主要技術(shù)參數(shù)

　　- XY閉環(huán)掃描范圍大：達100μm*100μm

　　- Z向閉環(huán)掃描范圍大：達15μm

　　- 超高的測量分辨率：可達0.02nm

　　- 全自動掃描范圍：300mm*300mm

　　- 具有快速掃描功能：達50Hz

　　部分測試實例

　　PARK公司科研級原子力顯微鏡選型指南：

　　- XE7型原子力顯微鏡：低預(yù)算客戶的理想選擇

　　- NX10型原子力顯微鏡：科研級客戶及工業(yè)檢測實驗室的

　　- NX-Hivac真空型原子力顯微鏡：高分辨及保障無氧無水環(huán)境

　　- NX12型生物型原子力顯微鏡：神經(jīng)學，生物細胞檢測及藥物檢測，單細胞通道客戶的理想選擇

　　- XE15型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品及工業(yè)檢測實驗室的

　　- NX20型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品，工業(yè)檢測實驗室及在線檢測的

　　- 工業(yè)級原子力顯微鏡歡迎來電詳細咨詢！