中頻電源曾在較長時間內(nèi)采用中頻發(fā)電機組。它由中頻發(fā)電機和驅(qū)動異步電動機組成。這種機組的輸出功率一般在50～1000千瓦范圍內(nèi)。隨著電力電子技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在使用的是晶閘管變頻器中頻電源。這種中頻電源利用晶閘管先把工頻交流電變換成直流電，再把直流電轉(zhuǎn)變成所需頻率的交流電。由于這種變頻設(shè)備體積小，重量輕，無噪聲，運行可靠等，已逐漸取代了中頻發(fā)電機組。

高頻電源通常先用變壓器把三相 380伏的電壓升高到約2萬伏左右的高電壓,然后用閘流管或高壓硅整流元件把工頻交流電整流為直流電，再用電子振蕩管把直流電轉(zhuǎn)變?yōu)楦哳l率、高電壓的交流電。高頻電源設(shè)備的輸出功率有從幾十千瓦到幾百千瓦。