日本DNK半導(dǎo)體行業(yè)用實(shí)驗(yàn)和研究的手動(dòng)批量曝光機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)
MA-1200，MA-1400
- 這是一臺(tái)用于實(shí)驗(yàn)和研究的手動(dòng)批量曝光機(jī)，支持玻璃，晶圓，薄膜等。小批量生產(chǎn)的理想選擇。
- 可以選擇接觸曝光（軟/硬）和接近曝光。
- 支持z大500 mm x 500 mm的板。配備了光學(xué)系統(tǒng)，可根據(jù)應(yīng)用和板子尺寸將超高壓汞燈（500W，1kW，2kW，3.5kW）與各種鏡子，特殊透鏡，聚光鏡等??進(jìn)行z佳組合。
MA-1200A
手動(dòng)批量曝光機(jī)非常適合于高混合，小批量生產(chǎn)，實(shí)驗(yàn)和研究，并且可以進(jìn)行穩(wěn)定的自動(dòng)間隙控制。
- 通過(guò)減少占用空間實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。
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| MA-1400 | ||
面板尺寸 | z大200 x | 高達(dá)400 x 400mm | |
光源 | 超高壓汞燈：500W或1kW | 超高壓汞燈：2kW或3.5kW | |
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 |
| 體重 | 400公斤 | 400kg（包括干凈的圍欄） |
| 光源重量 | -- | 250公斤 |
選項(xiàng) | 支持特殊的工作尺寸，例如干凈的圍欄，背面對(duì)準(zhǔn)，硬接觸（真空接觸類型），自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，破裂的基板（需要咨詢） | ||
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晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | |
光源 | 超高壓汞燈：500W或1kW | |
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬850 x深1150 x高1665毫米 |
| 重量 | 400公斤 |
選項(xiàng) | 背面對(duì)齊，自動(dòng)對(duì)齊，木板破裂，條形碼讀取器和LOG存儲(chǔ)支持（需要咨詢） | |