多功能真空實驗儀 型號:YQDH2010 | 貨號:ZH5503 |
產(chǎn)品簡介 實驗儀是一個真空實驗平臺,能夠很直觀反映真空獲得的過程。由真空獲得部分、真空鍍膜機構(gòu)和電控及儀表等部分組成,結(jié)構(gòu)合理,運行,適合于對學(xué)生開展真空實驗教學(xué)。 1、真空的獲得與測量; 2、蒸發(fā)法薄膜制備; 主要特點: 1 設(shè)備的真空反應(yīng)室、油擴散泵、真空管路部件透明; 2 電氣控制有防護,防止誤操作對操作人員和設(shè)備造成的損傷; 3 管路采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合,閥門為電控雙向截止閥,真空室內(nèi)有烘烤除氣設(shè)備; 4 一機多用的功能,針對高校開展綜合性、設(shè)計性和開放性實驗的要求,預(yù)留有大空間的真空室,在配置一些組件后,就能方便開設(shè)其他擴展實驗項目。 主要參數(shù): 1、φ230mm×255mm硬質(zhì)玻璃真空室; 2、采用機械泵、四玻璃質(zhì)油擴散泵兩真空系統(tǒng),擴散泵油量125~140ml,帶水冷; 3、真空度:開機60分鐘后可達6×10-3Pa,限真空度:9.6×10-4Pa;恢復(fù)真空時間<40分鐘; 4、采用一對無氧銅電蒸發(fā)電,電間距70mm,可選用鎢絲或鉬舟作蒸發(fā)源,蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)范圍:0~150A; 5、襯底可加熱。襯底加熱溫度范圍:室溫~200℃; 6、工作電壓:AC220V±5%,50Hz,整機功率3.5KW; 7、工作環(huán)境要求:溫度低于30℃,濕度≤70%;冷卻水溫度22℃±3℃,水循環(huán)用戶自備。 |
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